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CVI-1200系統
關 鍵 詞:CVI系統、化學氣相沉積、擴散試驗
CVI-1200系統由高溫管式爐,真空壓強控制系統,多通道高精度數字質量流量控制系統,過壓保護及冷凝等部分組成,可實現真空達0.1mbar混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。
型       號:CVI-1200
品       牌:鉅晶
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主要用途和適用范圍:

CVI-1200系統由高溫管式爐,真空壓強控制系統,多通道高精度數字質量流量控制系統,過壓保護及冷凝等部分組成,可實現真空達0.1mbar混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。

主要技術參數:

SGL-1200L真空管式爐

雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫

日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

加熱元件采用高電阻優質合金絲0Cr27Al7Mo2,經久耐用,最高溫度可達1200

機器電源

AC220V,50/60Hz;額定功率4kw

爐管

高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小,能承受驟冷驟熱的溫度變化;

尺寸:Φ80*/1000mm

剛玉支撐架,有效保證料件處于溫區中心

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等

加熱系統

加熱元件:0Cr27Al7Mo2

加熱區長度:300mm

恒溫區長度:150mm

工作溫度:≤1150

升溫速率:≤10/min

溫控系統

溫度控制采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能

30段升降溫程序

測溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1

超溫、斷偶故障警報及斷電保護

HQZ-

混氣系統

高精度質量流量計通過數據接口連接電腦,配置軟件實時人機交互界面

四通道質量流量控制,可同時通入四種不同氣體

內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

流量規格:0~30SLM

控制精度:±1.0F.S

真空系統

采用德國vacuubrand MV2NT VARIO四級隔膜泵,無極調速,實現負壓的精準控制

極限真空度可達0.1mbar

可長時間連續工作,無須擔心泵因過熱保護而中止實驗

采用電容式陶瓷隔膜真空規+控制器,操作簡單方便

配置氣體尾氣處理系統

冷凝系統

采用低溫恒溫槽,最低溫度可達-20

內置不銹鋼真空冷凝灌,采用KF接頭,清理收集方便

槽內冷液可外引,冷卻機外實驗容器,也可在槽內直接進行低溫、恒溫實驗


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